受力
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盛美半导体申请压力监测相关专利，实现半导体清洗设备精准压力监测
金融界2025年4月1日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“压力监测装置、半导体清洗设备及其监测方法”的专利，公开号CN 119738075 A，申请日期为2023年9月。专利摘要显示，本申请提供了一种压力监测装置、半导体清洗设备及其监测方法。该压力监测装置
2025-04-01 19:44:00
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